28.99.20.150 Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов

Классификатор
ОКПД 2
Уровень
Категория
Раздел
C
Входит в
28.99.20

28.99.20 — Оборудование и аппаратура, исключительно или в основном используемые для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев

Пояснения к коду 28.99.20.150

Эта группировка в том числе включает:

  • оборудование для плазмохимической обработки полупроводниковых пластин;
  • оборудование атомно-слоевого и физического осаждения тонких пленок;
  • системы вакуумные кластерные из двух и более технологических модулей для обработки полупроводниковых пластин

Соседние коды

Источник: Росстат, ОКПД 2, ОК 034-2014 (КПЕС 2008), с учётом изменения 148/2026. Первоисточник.